ẢNH HƯỞNG NHIỆT ĐỘ Ủ LÊN CẤU TRÚC TINH THỂ, TÍNH CHẤT ĐIỆN VÀ CẢM BIẾN PH CỦA MÀNG SNO2 PHA TẠP SB

Tóm tắt

Công trình này nghiên cứu ảnh hưởng của nhiệt độ ủ đến cấu trúc tinh thể, tính chất điện và cảm biến pH của màng SnO₂ pha tạp Sb. Màng SnO₂ pha tạp Sb được lắng đọng trên đế thạch anh bằng phương pháp Sol-gel phủ nhún. Màng sau đó được ủ ở các nhiệt độ khác nhau 300˚C, 500˚C và 700˚C trong 120 phút trong môi trường không khí. Cấu trúc tinh thể, hình thái bề mặt và tính chất điện của các màng được khảo sát bằng giản đồ nhiễu xạ tia X, ảnh FESEM và phép đo Hall. Kết quả cho thấy các thông số hằng số mạng, kích thước tinh thể, kích thước hạt bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ ủ. Kích thước tinh thể của màng tăng từ 17 lên 27 nm khi nhiệt độ ủ tăng từ 300˚C lên 700˚C. Điện trở suất của màng giảm trong khoảng nhiệt độ ủ 300˚C và 500˚C và tăng trở lại khi nhiệt độ ủ đạt 700˚C. Ngoài ra, màng ATO – 700˚C đạt giá trị độ nhạy cao nhất 50 mV/pH.